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发布时间:2019-11-08 14:00
原标题:AMSL事件引警示,集成电路“卡脖子”破壁仍刻不容缓
有报道称,荷兰光刻机巨头ASML将暂时中止为“中国客户”供应“极紫外光(EUV)微影设备”。中芯国际回应称:极紫外光(EUV)还在纸面工作阶段,未进行相关活动。ASML称,出口EUV到中国需取得荷兰政府的出口许可(export license)。该出口许可于今年到期,ASML已经于到期前重新进行申请,目前正在等待荷兰政府核准。
光刻机是半导体制造业中关键设备,直接决定芯片的性能水平。芯片在生产过程中需要进行20-30次的光刻,耗时占到制造环节的50%左右,占芯片生产成本的1/3。目前ASML在光刻机领域市占率近80%,基本垄断高端光刻机。光刻机是重要的卡脖子领域,国产化迫在眉睫。